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"特氣面板"通常是指用于控制和監(jiān)測(cè)特種氣體的分配和流量的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子制造、實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域。特氣面板通過(guò)集成閥門(mén)、壓力表、流量控制器和其他監(jiān)控設(shè)備，確保各種特種氣體在生產(chǎn)或?qū)嶒?yàn)過(guò)程中安全穩(wěn)定地供應(yīng)。
特氣面板的常見(jiàn)功能包括：
氣體流量調(diào)節(jié)
氣體純度監(jiān)測(cè)
壓力控制
防止氣體泄漏
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